從純水發展低碳技術 元智大學鐘國濱教授技術獲國際矚目

【本報訊】

邁入第 30 屆的 SEMICON Taiwan 2025於 9 月盛大登場，今年首度設立的「晶片新創專區」（Silicon Startups Zone），網羅全球 17 支新創團隊參與。其中，來自元智大學機械系的鐘國濱教授，以唯一受邀的學術單位代表登台發表報告，格外引人矚目。

鐘國濱教授長期專注於低碳能源與半導體應用研究，此次帶領團隊成功開發 次世代 PEM 電解技術，能將純水分解為「低碳高濃度臭氧」與「負碳電子級氫氣」。其中，臭氧可取代傳統高碳製程，應用於 超純水製造、晶圓清潔及製程廢液降解；而氫氣則能廣泛應用於 極紫外光（EUV）、化學氣相沉積（CVD）、晶圓表面處理 等先進製程。此項突破不僅有效降低碳排，亦呼應台灣 2030 年推動 半導體零組件六成本土化 及 打造低碳供應鏈 的國家戰略目標。

（元智大學鐘國濱教授登台發表/照片由鐘國濱提供）

鐘教授表示，團隊的研究成果已在半導體廠務業者的產線中完成試驗，驗證了以純水推動低碳製程的可行性。未來，團隊將以此為基礎，成立具國際競爭力的新創公司。該技術不僅榮獲 第21屆國家新創獎，更成為元智大學科研成果登上國際舞台的重要代表。

（元智大學團隊合影，展現低碳創新能力/照片由鐘國濱提供）

在 SEMICON Taiwan 2025 的「晶片新創專區」中，鐘國濱教授以 「次世代 PEM 電解水產生低碳臭氧和負碳氫氣驅動半導體產業低碳發展」 為題發表演講。此次亮相，不僅展現元智大學科研成果與全球半導體生態鏈的連結，也彰顯台灣在 低碳永續與先進製程創新 的堅實實力。